Авторы: Дмитрий Духопельников
Дмитрий Духопельников. Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. М.:МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014
Не получается найти нужный источник? Попробуйте нашу услугу по подбору и оформлению источников литературы.
Фрагмент книги
Библиографическое описание
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Сведения об ответственности: Дмитрий Духопельников
ISBN: 978-5-7038-3798-6
Готовые работы, где использовался источник
Общая характеристика технологических поцессов
222₽
- Курсовая работа
- Авиационная и ракетно-космическая техника
- Выполнил: toshatereh
Так же вы можете купить уже выполненные работы. Для удобства покупки работы размещены на независимой бирже. Нажимая "Купить" вы будете перенаправлены на страницу карточки работы.
Гарантия на работу 10 дней.